فرن نفقي نظيف لصناعة أشباه الموصلات

فرن النفق النظيف لصناعة أشباه الموصلات هو جهاز تسخين ومناولة مصمم خصيصًا لعملية تصنيع أشباه الموصلات. فهو يجمع بين المعالجة عالية الحرارة ومتطلبات البيئة شديدة النظافة لتلبية المعايير الصارمة للنظافة والتحكم الدقيق في إنتاج رقائق أشباه الموصلات.

مميزات المعدات

1. نظام التدفئة: تسخين بالأشعة تحت الحمراء البعيدة، تأثير إشعاعي عالي، سرعة تسخين أسرع، توزيع أنبوب التسخين معقول، كل منطقة درجة حرارة تحكم مستقلة، وفقًا لاحتياجات عملية درجة حرارة قسم التسخين

2. نظام التحكم في درجة الحرارة: PLC + حل التحكم في شاشة اللمس، باستخدام سخان التحكم في خرج النبض، SSR، لتجنب تأثير التيار اللحظي، وتقلبات التحكم في درجة الحرارة والتأثيرات الأخرى، مع منظم حرارة خرج DC24V، والذي يمكن أن يجعل جهد الخرج سلسًا، وتأثير التحكم في درجة الحرارة أكثر استقرارًا، ودرجة الحرارة أكثر دقة، مع ضبط ذاتي PID، منظم حرارة أوتوماتيكي، يمكن أن يكون التوقيت التلقائي أكثر من القيمة المحددة لدرجة الحرارة، والقطع التلقائي للتدفئة عندما تتجاوز درجة الحرارة القيمة المحددة، فإنه سيتم قطع طاقة التدفئة تلقائيًا وإنذار الصوت والضوء.

3. عزل المعدات: عزل صوف صخري من سيليكات الألومنيوم المشفر 100K، الصندوق خارج الأساس للحفاظ على درجة الحرارة العادية للغرفة، ودرجة الحرارة المحيطة لها تأثير أقل.

4. حماية السلامة: حماية التسرب، حماية الخط، حماية الدائرة القصيرة، حماية الحمل الزائد، حماية درجة الحرارة الزائدة.

5. وفقًا لاحتياجات الإنتاج، يمكن تجهيزها بفلتر عالي الكفاءة ومقاوم لدرجات الحرارة العالية، درجة نظيفة CLASS1000.

6. النقل: يمكن اختيار حزام شبكة تفلون أو حزام شبكة الفولاذ المقاوم للصدأ أو سلسلة اللوحة وفقًا للحاجة، ويمكن تعديل سرعة النقل عن طريق تحويل التردد.

7. الجزء الداخلي من جسم الفرن مصنوع من لوحة الفولاذ المقاوم للصدأ SUS304# للحفاظ على نظافة داخل الفرن، ويتم معالجة سطح المعدات باستخدام طلاء الخبز.

8. دعم تتبع رمز المنتج ونظام MES (اختياري).

التطبيقات

تُستخدم أفران النفق النظيفة على نطاق واسع في صناعة تصنيع أشباه الموصلات، وخاصة في تصنيع الرقائق والتعبئة والاختبار وغيرها من الروابط الرئيسية. تلعب دورًا مهمًا في تحسين إنتاجية رقائق أشباه الموصلات، وتقليل تكاليف الإنتاج وتقصير دورة الإنتاج.